光刻机上海微电子（光刻机龙头10年仅投入6亿，华为感叹：我自己来做吧） 光刻机 02专项 其实按照“02专项”（极大规模集成电路制造技术及成套工艺）的预定时间表，在2020年就应该完成DUV光刻机（28nm级别）的攻关，但从目前掌握的消息来看2021年的机会已经不大，... 电子 2025-05-02 24 #光刻机 #上海微电子 #研发投入
